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產(chǎn)品型號：SPIN150i
產(chǎn)品代碼：SPIN150i
產(chǎn)品價格：10000
產(chǎn)品編碼：SPIN150i
計量單位：套
折 扣 率： 9
最后更新：2016-12-27
關 注 度：3707
生產(chǎn)企業(yè)：武漢邁可諾科技有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹一、產(chǎn)品概述：
SPIN150i型勻膠機適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列勻膠機具有穩(wěn)定的轉速和快速的啟動，可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是SPIN150i型勻膠機的特點。
二、勻膠機工作原理：
勻膠機（spin coater）的工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉速度及時間有關。
三、勻膠機主要性能指標：
1、腔體直徑：8英寸 (202 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-160mm直徑的材料，4英寸方片；
3、轉速范圍: 1~12000RPM**，±1rpm steps；
4、最大加速度：30000RPM/S；
5、轉速精度: ±0.1rpm；
6、程序段數(shù)：無限制；
7、操作步數(shù)：無限制；
8、旋轉時間：無限制*，±0.1 Second steps；
9、旋轉方向：順時針，逆時針，交換擺動；
10、擴展接口：1個USB接口；
11、馬達保護：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm（可關閉）；
12、排廢連接：1” M-NPT；
13、觸屏控制：全彩觸摸屏控制界面
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主營產(chǎn)品：勻膠機，旋涂儀，甩膠臺，勻膠臺，涂層機，涂膠機，涂膜機,旋轉涂敷儀, HPC,PPC, PAC，SCE系列等離子清洗機， Cargille光學試劑，光刻機/曝光機，壓力機, 壓片機, 熱壓機，WABASH熱壓機, CARVER熱壓機,LAURELL勻膠機、HOT PLATE熱板 烤膠機
Laurell勻膠機 Harrick等離子清洗機 PIE等離子清洗機 NDK熱板烤膠機 PlasmaEtch等離子處理系統(tǒng) Carver手動壓片機 Uvitron紫外固化箱 Novascan紫外臭氧清洗機
Wenesco/EMS/Unitemp加熱板 Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng) NXQ光刻機
Anatech等離子系統(tǒng) Wabash/Carver自動壓片機
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