供應(yīng)勻膠機(jī)/勻膠旋涂儀WS-650-23
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產(chǎn)品型號：WS-650-23
產(chǎn)品代碼：WS-650-23
產(chǎn)品價格：100000
產(chǎn)品編碼：WS-650-23
計量單位：臺
折 扣 率： 9
最后更新：2016-12-27
關(guān) 注 度：3294
生產(chǎn)企業(yè)：武漢邁可諾科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹Spin Processor勻膠旋涂儀
MYCRO公司提供美國原裝進(jìn)口勻膠旋涂儀，請您放心選購！
MYCRO美國原裝進(jìn)口的旋涂儀，自1985年開始，我們便為提供化工半導(dǎo)體材料清潔涂敷處理等特殊工藝。公司擁有WS系列各類旋轉(zhuǎn)涂敷系統(tǒng)，目前客戶已遍布全球。
勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者SpinProcessor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)/旋轉(zhuǎn)涂層儀、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)旋涂儀
適用旋涂材料的尺寸范圍
WS-650-23 標(biāo)配為10mm 可選配到3mm或5mm 6英寸（150mm）直徑圓片或5x5英寸（125mm）邊長方片
WS-650-8 標(biāo)配為10 mm 可選配到3mm或5mm8英寸（200mm）直徑圓片或7x7英寸（175mm）邊長方片
WS-650-15 標(biāo)配為10mm 可選配到3mm或5mm12英寸（300mm）直徑圓片或9x9英寸（225mm）邊長方片
WS-650-X 標(biāo)配為10 mm 可選配到3mm或5mm可根據(jù)用戶特殊要求訂制設(shè)備
可選擇三種不同的安裝構(gòu)造:
***流行的Table Top型可自由放置在實(shí)驗(yàn)臺面上
OND型，帶遠(yuǎn)程控制器可用于手套箱等封閉環(huán)境
IND型，帶遠(yuǎn)程控制器可用于WetStation濕法處理環(huán)境
高性能馬達(dá)驅(qū)動
旋轉(zhuǎn)控制
Mz型高精度旋涂用馬達(dá)
轉(zhuǎn)速范圍:50~12000RPM （注 50RPM是***小穩(wěn)定轉(zhuǎn)速）
加速度:13000RPM/S;
轉(zhuǎn)速誤差:＜±0.5RPM@8000RPM NIST標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證；
勻膠均勻性:＜1% @6 inch Wafer
安全設(shè)計
保護(hù)氣流構(gòu)造
旋涂過程中可以充氮?dú)夂蜌鍤?對旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù) ;
防止飛片設(shè)計
嵌鎖的安全蓋板;蓋板鎖定后才可以啟動旋涂作業(yè); 電子絕緣負(fù)載雙保護(hù);
防腐構(gòu)造設(shè)計;
新一代650型高性能數(shù)顯控制器。非常方便設(shè)定處理速度和加速度程序段；可設(shè)置順序循環(huán)控制;控制精度
數(shù)顯控制器采用高位計數(shù)光學(xué)編碼器輸出,高精度密封循環(huán)伺服控制器,經(jīng)美國國家標(biāo)準(zhǔn)研究院NIST認(rèn)證,實(shí)時顯示精度控制在設(shè)定值的0.006%以內(nèi)(美國NIST激光測量器件的極限值)。系統(tǒng)無需重復(fù)校準(zhǔn)!
操作者可隨時隨地自由實(shí)現(xiàn)人機(jī)交互；
設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)進(jìn)程中,可隨意向前,向后或者往返跳躍操作步驟；
循環(huán)指令,并可以重復(fù)操作(多達(dá)255次)；
在運(yùn)轉(zhuǎn)模式下也可以實(shí)時改變速度和加速度；
包含PC程序端接口；
可視化操作模型(化學(xué)試劑，傳感器所見即所得的操作界面)；
故障報警裝置(可形象顯明故障發(fā)生位置)；
加速度的***小分辨率為 1 RPM/S；
寬廣的速度設(shè)定范圍(1~12000RPM)；
需要更詳細(xì)的等離子體表面處理儀資料咨詢，
客服熱線：4008800298-8843 18221354817 Email: taran_zhao@mycro.com.cn
主營產(chǎn)品：勻膠機(jī)，旋涂儀，甩膠臺，勻膠臺，涂層機(jī)，涂膠機(jī)，涂膜機(jī),旋轉(zhuǎn)涂敷儀, HPC,PPC, PAC，SCE系列等離子清洗機(jī)， Cargille光學(xué)試劑，光刻機(jī)/曝光機(jī)，壓力機(jī), 壓片機(jī), 熱壓機(jī)，WABASH熱壓機(jī), CARVER熱壓機(jī),LAURELL勻膠機(jī)、HOT PLATE熱板 烤膠機(jī)
Laurell勻膠機(jī) Harrick等離子清洗機(jī) NDK熱板烤膠機(jī) PlasmaEtch等離子處理系統(tǒng)
Carver手動壓片機(jī) Uvitron紫外固化箱 Novascan紫外臭氧清洗機(jī)
Wenesco/EMS/Unitemp加熱板 Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng) NXQ光刻機(jī)
Anatech等離子系統(tǒng) Wabash/Carver自動壓片機(jī)
公司名稱:邁可諾技術(shù)有限公司
聯(lián)系人：趙先生 4008800298-8843 18221354817 Email: taran_zhao@mycro.com.cn |
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| 會員級別：免費(fèi)會員 |
| 加入時間：2016-12-27
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