產(chǎn)品詳細(xì)介紹特點(diǎn)
低噪聲，直流電驅(qū)動(dòng)
隔離套裝實(shí)現(xiàn)PA級(jí)電信測(cè)試精度
隔絕水循環(huán)保護(hù)chuck底座
可以在絕大多數(shù)探針臺(tái)上加裝
易于裝卸
規(guī)格
真空吸附載物臺(tái)的尺寸
4, 6, 8,英寸直徑，1英寸厚度
Chuck 平整度
+ -10 微米
控溫范圍
常溫到300攝氏度
控溫精度
0.1℃
溫度穩(wěn)定度
+- 1%
從25 ℃開始升溫時(shí)間
100 ℃ 150 ℃ 200 ℃ 300 ℃
(4 英寸chuck，單位為
分鐘：秒 )
1:00 2:30 3:00 4:30
電源
直流
材質(zhì)
不銹鋼
需求
供電
220 VAC, 60Hz
電力消耗
4英寸chuck 700W
6英寸chuck 1000W
8英寸chuck 1500 W
真空
-250 mmHg, 7 liter/min
循環(huán)水
20 Liter/Min
尺寸
控制器 350mm長 x 300mm寬 x 150mm高
重20 Kg
附件
高溫配件，可以升溫至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃
低溫配件，可以冷卻至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫至-196 ℃
用于其他品牌探針臺(tái)的安裝轉(zhuǎn)接口
方形chuck
更高溫度控制精度
更高溫度均勻性
加速升溫配件
水冷箱
更低電流測(cè)試用的屏蔽裝置
真空腔體
測(cè)試屏蔽腔體
真空吸附的chuck
鍍金的chuck
鍍鎳的chuck |
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