產品詳細介紹主要參數(shù) 型號 MPT-6JN/RL050 運動自由度 X,Y,Z ;θx,θy,θz 行程范圍(μm±20%) 50,50,30 轉角范圍 (mrad±20%) 0.6,0.6,1 位移分辨率 (nm) 0.6,0.6,1 重復定位精度 (nm) -/50,-/50,-/30 運動方向上剛度(N/μm±20%) 50 最大負載 (Kg) 5 固有頻率 (Hz±20%) 1500 工作溫度范圍 (℃) -20 ~ 80
開環(huán)工作臺推薦匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺推薦匹配電源型號:PPC-2CR0150 |