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DAGE XM8000 晶圓 X 射線計量平臺
產(chǎn)品型號:DAGE XM8000
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最后更新:2024-09-26
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產(chǎn)品詳細介紹DAGE XM8000 晶圓 X 射線計量平臺

可快速、自動對 TSV、MEMS 和晶圓凸塊進行 X 射線測量,以查明氣泡空洞情況、填充度、覆蓋程度和其他臨界尺寸。

測量無形尺寸

這一新平臺采用先進的 Nordson DAGE 現(xiàn)有 X 射線系統(tǒng)功能,可以提供自動化的高吞吐量 X 射線計量和針對光隱藏和可見特征(包括 TSV、2.5D 和 3D IC 封裝、MEMS 和晶圓凸塊)的缺陷復檢系統(tǒng)。

XM8000 可以對空穴和填充度、覆蓋程度以及臨界尺寸等進行非破壞性的線上晶圓測量。 通過此方法可將 XM8000 用作集成電路制造和封裝的組成部分或用作質(zhì)量控制和產(chǎn)品驗收的一部分。

優(yōu)點

高吞吐量 X 射線計量和對以下光隱藏和可見特征進行缺陷復檢:

 TSV

 2.5D & 3D IC 封裝

 MEMS

 晶圓凸塊

非破壞性線上測量空穴和填充度、覆蓋程度、臨界尺寸等


X 射線技術

Nordson DAGE XM8000 X 射線計量平臺可對不超過 300 毫米晶圓上的金屬特征進行快速、全自動、非破壞性測量。 

XM8000 采用先進的 Nordson DAGE 現(xiàn)有 X 射線系統(tǒng)功能(如無燈絲、密封傳送型 X 射線管),并且實現(xiàn)了良好的檢測、自動化和吞吐量。 這使得 XM8000 可用作集成電路制造和封裝的組成部分或用作質(zhì)量控制和產(chǎn)品驗收的一部分。

XM8000 X 射線平臺可快速測量無形尺寸,從而使您再無隱憂。
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